Skirtumai ir pritaikymai tarp dangos PVD ir CVD

PVD (fizinio garų nusėdimas) ir CVD (cheminio garų nusėdimas) yra dvi įprastos dangos technologijos, kurios iš esmės labai skiriasi, procesas ir taikymas.

1. Principas PVD: medžiagą iš kietųjų medžiagų konvertuokite iš dujų fiziniais metodais (tokiais kaip garinimas ar dulkinimas), o tada padėkite ją ant substrato paviršiaus, kad sudarytų ploną plėvelę. CVD: generuokite kietą plėvelę ant substrato paviršiaus chemine reakcija, paprastai susijusi su dujinių pirmtakų skilimu ar reakcija aukštoje temperatūroje.

2. Proceso sąlygos PVD: Paprastai atliekama vakuuminėje aplinkoje, temperatūra yra santykinai žema (200-500 laipsnis), tinkama medžiagoms, kurios nėra atsparios aukštai temperatūrai. CVD: reikalauja aukštesnės temperatūros (600-1000 laipsnio), dažnai atliekama esant normaliam slėgiui arba žemam slėgiui, tinkančiam aukštai temperatūrai atsparioms medžiagoms.

3. Plonos plėvelės savybės PVD: plėvelė yra tanki ir stipriai suklijuota, tačiau storio vienodumas yra prastas. CVD: Filmas turi gerą vienodumą ir gali aprėpti sudėtingas formas, tačiau gali būti priemaišų.

4. Taikymo laukai PVD: paprastai naudojami įrankių dangose ​​(tokiose kaip pjovimo įrankiai), dekoratyvinės dangos (pvz., Laikrodžiai, papuošalai) ir optinės plėvelės (tokios kaip lęšiai). CVD: plačiai naudojamas puslaidininkiuose (tokiose kaip integruotos grandinės), atsparusias dilimavimo dangas (tokias kaip formos) ir aukštos temperatūros apsauginės dangos (tokios kaip orlaivių variklio ašmenys).

5. PVD pranašumai ir trūkumai: Privalumai apima žemos temperatūros veikimą ir aukštą plėvelės kokybę; Trūkumai yra didelės įrangos kainos ir žemas nusėdimo procentas. CVD: Privalumai apima vienodą plėvelę ir tinkamas sudėtingoms formoms; Trūkumai yra aukštos temperatūros reikalavimai ir galimas kenksmingų dujų generavimas.

Santrauka PVD ir CVD turi savo savybes, o pasirinkimas priklauso nuo konkrečių paraiškos reikalavimų. PVD yra tinkamas žemos temperatūros ir aukštos kokybės plėvelėms, o CVD tinka aukštai temperatūrai ir vienodoms sudėtingų formų dangoms.